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產(chǎn)品資料

化學(xué)氣相沉積爐

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 化學(xué)氣相沉積爐
產(chǎn)品型號: HTT-CVD
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

CVD化學(xué)氣相沉積爐由開啟式單(雙)溫區(qū)管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、壓強控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成。CVD化學(xué)氣相沉積爐可實現(xiàn)真空達0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴散試驗。


化學(xué)氣相沉積爐  的詳細介紹

主要功能和特點

1、高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成,*高真空可達0.0001Pa;

2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現(xiàn)負壓的精準(zhǔn)控制;

3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的**性和連續(xù)均勻性。

4、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;管路采用世界*Swagelok卡套連接,不漏氣;

5、超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進氣,使用**可靠。

主要用途

高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD/CVI實驗,特別適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結(jié)等場所。

主要技術(shù)參數(shù):

SKGL-1200

控溫方式

采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。

加熱元件

0Cr27Al7Mo2

工作電源

AC220V    50HZ/60HZ

額定功率

4KW

爐管尺寸

Φ60/Φ80/Φ100*1000mm

工作溫度

1150

*高溫度

1200

恒溫精度

±1

加熱區(qū)長度

440mm220mm/220mm

升溫速度

20/min

密封方式

不銹鋼快速法蘭擠壓密封

ZK-F

真空范圍

0.1-0.001Pa

極限真空

4.0*10^-4Pa

產(chǎn)品配置

雙級旋片真空泵+分子泵

測量方式

復(fù)合真空計

真空規(guī)管

電阻規(guī)+電離規(guī)

冷卻方式

風(fēng)冷

工作電源

AC220V 50/60HZ

抽速

110L/S

ZDFC-Ⅲ

測量范圍

51*10^-5 Pa

穩(wěn)壓(真空)范圍

15*10^-3Pa

壓力(真空)穩(wěn)定精度)

±3%

控制范圍

2.5*10^31*10^-4 Pa

控制精度

± 1%

HQZ-Ⅲ

控制方式

D07-7K質(zhì)量流量計,D08流量顯示儀

流量規(guī)格

0500SCCM /01SLM,(可根據(jù)客戶需要配置)

線性

±1%F.S

準(zhǔn)確度

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時間

2sec

耐壓

3MPa

氣路通道

3通道(根據(jù)客戶需求)

針閥

316不銹鋼

管道

Φ6mm不銹鋼管

接口

SwagelokΦ6mm

 

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